多晶硅压力传感器相关论文
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中......
近年来，国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展，研究内容不断深入，研究范围不断拓宽，器件结构新颖，性能与可靠性有所提高，使应用领域......
压力传感器是应用极为广泛的一种传感器。多晶硅压力传感器的研究和开发拓宽了压力传感器的应用领域。 论文首先介绍了多种高温......
