大行程高精度相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

大行程高精度相关论文

两自由度宏微复合精密定位系统研究

随着扫描探针显微镜、微电子加工、微纳操作等领域的不断发展,科学研究与工业生产对于大行程以及超高精度运动平台的需求越来越高......

学位

精密定位大行程高精度宏微耦合多输入多输出

夹层结构磁悬浮纳米定位平台结构设计与控制方法研究

伴随着传统制造产业向纳米制造产业的发展,为了满足各种纳米制造的实验要求,同时适应微纳米器件的组装及测量、微纳米级机电系统的......

学位

大行程高精度磁悬浮定位平台双层驱动夹层结构平面线圈永磁涡流阻尼器

看过本文同时还关注