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射频反应磁控溅射法相关论文
p-Si衬底上生长ZnO薄膜的结构和性能
本论文采用射频反应磁控溅射法,以高纯度的O2和Ar为溅射工作气体,在Si衬底上成功地制备了高质量的多晶ZnO薄膜,并且利用ZnO同质缓......
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非晶态WO3薄膜的制备及光催化性能研究
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非晶态WO3薄膜
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