射频空心阴极放电相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

射频空心阴极放电相关论文

射频空心阴极放电及其在微晶硅薄膜制备中的应用

射频空心阴极放电可以产生高密度等离子体，因而被认为是有望实现快速沉积微晶硅薄膜的有效方法之一。本文对射频空心阴极放电的放电......

学位

射频空心阴极放电空心阴极效应流体模型放电模式微晶硅薄膜沉积

射频空心阴极放电维持机制的研究

射频空心阴极放电可以产生高密度、低能量的等离子体,目前,射频空心阴极放电在薄膜沉积、材料处理等方面得到了广泛的应用。本文从......

学位

射频空心阴极放电空心阴极效应流体模拟加热模式

看过本文同时还关注