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差频式微机械加速度计的建模与仿真
针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的......
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微机械加速度计
差频设计
有限元仿真
micromechanical accelerometer
differential frequency design
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