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平面正交衍射光栅相关论文
自带计量标准器的二维位移工作台研究
提出以平面正交衍射光栅作为二维位移工作台计量标准器的方法,随工作台的移动,光栅能同时检测一个平面上两个方向的位移.阐述了正......
期刊
二维位移工作台
平面正交衍射光栅
计数细分
李萨如图
计量标准器
2D displacement platform
plane cross diffracti
正交衍射光栅计量原理及在超精密工作台上的应用
为了满足现代各种不同精密加工与测量的要求,世界各国都在研制各种各样的精密工作台,它的研究发展很快。计量型、宽范围、高精密的......
学位
平面正交衍射光栅
光栅干涉
二维位移工作台
压电陶瓷
信号椭圆拟合
光电接收信噪比
动态特性实验
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