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气体摆式MEMS倾角传感器的封装热可靠性研究
基于MEMS技术的倾角传感器近年来凭借其尺寸轻巧、低功耗、价格低廉、可靠性高等优点,在越来越多的领域如汽车,导航,地震预报系统......
学位
MEMS封装
倾角传感器
热可靠性
热对流
灵敏度
引脚温升
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