径迹刻蚀薄膜相关硕士博士期刊学术论文

开发了一种具有高流速、长期稳定的低压电渗微泵芯片.该泵由厚度约12 μm、具有高密度双锥纳米孔(孔径约30 nm)的径迹刻蚀薄膜制成......