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本论文以准分子激光微加工为基础，详细阐述了集准分子激光微加工、准分子激光微加工同轴显微镜、一维可同步调节线宽掩膜系统于一体......
针对纳秒脉冲激光微加工系统的发展,提出了一种集成图形文件解析和高速运动控制的加工系统,包括控制单元、激光器、机械结构和光路......
自行研制紫外微加工系统，系统有效工作范围120mm×120mm，最小加工线宽80um，系统操作简单、运行稳定高效．实验中完成对Nd：YAG紫外激......
期刊
激光微加工技术是指激光辐照在材料表面,引起材料表面形状或者结构发生改变的一项技术,也是目前材料加工领域应用需求增长最快的一......
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随着多孔硅在室温下可以被激发出荧光的现象的发现,具有稳定发光特性的硅基结构和器件的研究和制备得到了广泛的关注,硅材料的光电......
