微器件制作相关论文
介绍紫外光刻法制作微纳光纤布喇格光栅(MF-BG)的制作工艺,测量并分析不同直径的微纳光纤布喇格光栅的反射谱。数据表明随着微纳光......
研究了一种新型的纳米结构制作方法--纳米压印光刻技术.该工艺通过阻蚀剂的物理变形而不是改变其化学特性来实现图形转移,其分辨率......
