微型致动器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

微型致动器相关论文

一种用于主动流动控制的气泡型微致动器

面向先进主动流动控制，在国内率先研发了一种基于微机电系统（MEMS）的气泡型微致动器阵列技术。分析了气泡型微致动器用于主动流动控制......

期刊

微机电系统微型致动器气泡主动流动控制 MEMS micro actuator balloon active flow control

形状记忆钛合金

Ni-Ti基高温形状记忆合金[1] 用溅射法制备的Ti-Ni薄膜是制作微型致动器用的材料,Ni-Ti形状记金在回复时产生数百MPa以上的应力并......

期刊

形状记忆合金钛合金溅射 Ti-Ni薄膜微型致动器

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