微梁相关论文
本文以无标记生物检测中DNA-微梁为研究对象,利用和发展Parsegian液晶理论,借助思想实验法、变形等效法和非线性弹性网络模型,定量......
近年来,由于机械传感器具有体积小,高灵敏度等优势并且可以调节到纳米级尺寸的能力,从而被广泛应用于生物、医学和化学等领域来进......
微电子机械系统自出现以来在国际上就很受重视,人们对其作了大量的研究工作。人们在研究过程中发现,微电子机械系统中存在着多种非......
微机电系统(MEMS)已被广泛应用于现代科技和工程的诸多领域。其中谐振器是MEMS的核心部件。MEMS谐振器的能量耗散分为外部耗散和内......
近年来,工程系统构件耦合热弹性时振动特性的研究已成为一个新的研究领域.Euler-Bernoulli梁的模型是最常用的模型.基于这种模型,......
在微机电系统(MEMS)中,当微结构尺寸减小到微米量级后,其力学和物理性能表现出与块体结构不同的特性,具有一定的尺度效应。由于静......
微机电系统(MEMS)属于微尺度领域的范畴,具有一系列独特于宏观领域的性质。在力学方面,微尺度效应引发的粘附现象通常容易被忽略并......
学位
微电子机械系统(MEMS)近年来发展很快。其设计与制造和通常半导体技术有相似也有不同。本文利用微结构型微波功率传感器的设计和制......
在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等。重点是从多晶铜微梁构......
期刊
提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案，根据材料力学中悬臂梁的相关理论，建立了微梁检测结构的等效模型，推导出了微梁应......
鉴于三维形貌在微机电系统(MEMS)测试领域的重要地位及显微干涉法在光学计量领域的高精度性能,开展了显微干涉法在MEMS结构三维形......
摘 要：微梁是微机电系统中的常见结构，尺寸效应是微梁不同于其他梁的重要特征.基于偶应力理论和最小势能原理，推导了微梁弯曲时一阶微......
机电耦合问题是微机电系统结构分析中的重要内容之一,目前多采用有限元方法求解.作为结构分析的有限元方法从精度上来说是令人满意......
针对微机械器件中普遍使用的微梁在静电力作用下的变形、吸附、电压与间距等设计问题,以平行板电容器为原型,利用弹性力学中的板梁......
基于主振型叠加法和拉格朗日动力学方程,建立微机电系统多场耦合分析的宏模型.这一模型是由常微分方程组成的有限自由度系统,自由......
由于微尺度领域材料的力学性能存在尺度效应,使得微梁的动力学性态较传统的大尺寸柔性梁的动力学性态呈现明显的不同。对中心转动......
为探讨微机电系统中梁结构无耗散弛豫动力学特性,基于Euler-Bernoulli梁方程,引入两端绞紧梁边界条件,推导梁挠度无耗散弛豫理论表......
在微机电开关梁的设计过程中，对其吸合过程的响应时间的分析具有重要的意义。对静电力驱动的微开关梁的瞬态分析用于确定设计中的结......
双层材料微梁是一种常见的高灵敏度微梁传感结构,温度变化会使微梁发生弯曲形变并改变微梁的谐振频率.研究了微梁谐振频率与其构成......
基于微机电系统（MEMS）技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用,但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和......
随着微机电系统（MEMS）技术的发展,出现了高g值加速度敏感芯片,但因所受惯性力巨大,其综合性能难以提升,特别是过载和交叉耦合问题尤......
微机电系统以其微型化、集成度高和产量高等优势成为未来发展的主导产业之一。微梁作为微机电系统最常见的结构之一,对其力学性能......
提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法.建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系,通过检测谐振频率可以测量环境相对......
考虑静电力边缘效率的影响,导出了静电力微梁的耦合控制方程,并借助打靶法和迭代修正齐次扩容精细积分法提出了一种分析两端固支变......
期刊
微梁生化传感技术是在微机电系统和原子力显微镜基础上发展起来的一项新兴传感技术,具有检测灵敏度高、无需标记、能实时原位再现......
随着微机电系统(Micro-electro-mechanical-systems,简写为MEMS)技术的兴起和发展,功能各异的MEMS器件和产品已经被成功研制并得到......
不少微观实验已经证实，微尺度领域材料的力学性能存在尺度效应．文章以转动刚体、柔性微梁组成的刚柔耦合系统为研究对象，采用偶应力理......
光学读出红外热成像系统中,焦平面阵列(FPA)反光板的初始弯曲降低了系统的光学检测灵敏度。针对FPA的设计制作,提出了两种降低其反......
提出一种基于MEMS技术、利用爆炸物微粒本身特性来检测爆炸物的新型微梁式爆炸物探测器,这种探测器利用不同爆炸物具有不同的熔点......
