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基于微器件的超声微细加工基础试验研究
随着以微机械为代表的工业制品日益小型化及精微化,特别是随着晶体硅、光学玻璃、工程陶瓷、硬质合金等硬脆材料在微机械领域的广......
学位
微细加工
超声加工
超声电解复合加工
变幅杆
微细工具头
压电陶瓷
单晶硅片
硬质合金
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