微缝宽度相关论文
提出了以激光为光源的微缝宽度测量系统的新方法。从理论和实验上对几种影响激光衍射法测量微缝宽度的因素进行了研究,并以正交CCD......
提出了一种微细狭缝宽度测量的新方法,利用了线阵CCD分辨力高的特点,进行适当的光学设计使两个线阵CCD正交,通过对夫琅和费衍射条......
