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悬臂梁膜硅微机械电容式麦克风的设计与仿真
硅微机械电容式麦克风应用广泛,从普通的消费产品到专业的音频系统,它具有体积小、成本低、高精度、可靠性高和批量制造等优点。微......
学位
硅微机械电容式麦克风
悬臂梁膜
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