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扫描等离子体刻蚀加工相关论文

微小等离子体反应器的导出机理研究

提出了一种通过空心阴极底部的微孔及外加偏置电场的方法实现微小等离子体导出的机制,并采用二维流体模型对其进行了数值仿真研究......

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