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探针运动相关论文
基于AFM的线宽测量中探针运动影响及不确定度的研究
纳米尺度线宽的测量是纳米计量研究领域中的一个重要问题。它是在纳米尺度对刻线或其它表面特征的宽度进行测量的技术。近年来迅猛......
学位
线宽测量
原子力显微镜
探针运动
不确定度
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