掺氮直拉硅相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

掺氮直拉硅相关论文

大直径直拉硅片的一种新型内吸杂工艺研究

半导体硅材料是微电子产业的基础材料。多年来,人们一直在研究如何控制和利用直拉硅中的杂质和缺陷,即所谓的“缺陷工程”。其中内......

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直拉硅掺氮直拉硅氧沉淀洁净区内吸杂工艺

快中子辐照掺氮直拉硅中氧沉淀及诱生缺陷研究

本文利用傅立叶红外光谱仪（FTIR）和光学显微镜观察的方法,研究了辐照剂量、退火条件等因素对快中子辐照掺氮直拉硅（NCZSi）中氧沉淀及诱......

学位

快中子辐照掺氮直拉硅氧沉淀缺陷氮氧复合体

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