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基于计算机微视觉的亚微米特征尺寸测量理论与实验研究
微、纳尺度操作与制造需要快速、高精度地测量亚微米特征尺寸。基于探针或扫描方法的微结构表面形貌测量技术可达到纳米级测量精度......
学位
显微图像测量
亚微米
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基于图像矩函数的图像清晰度评价方法
自动调焦作为显微图像测量中的关键技术,其核心为图像清晰度评价函数。现有图像清晰度评价函数在对焦目标与背景的对比度较低时,评价......
期刊
自动调焦
显微图像测量
图像清晰度评价函数
低对比度
图像矩
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