甚高频（频率大于30 MHz）耦合放电源由于能产生大面积高密度的等离子体而受到了人们的广泛关注.采用电流、电压探针以及朗缪尔探针诊......

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甚高频激发的容性耦合等离子体由于离子通量和能量的相对独立可控而受到人们的关注.本文采用朗缪尔探针诊断技术测量了40.68 MHz激......