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光导开关对重掺杂半导体基底与多层金属电极形成的欧姆接触有很高的要求,欧姆接触的质量直接影响光导开关的效率、增益和开关速度等......
用低压化学气相淀积的方法制备了欧姆接触的样品,分别对退火前后的样品采用两种测量方法线性传输线模型和原点传输线模型法进行测......