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正交优化实验法相关论文
0.5μm有源区腐蚀工艺的正交优化
文章基于Precision5000等离子刻蚀技术,运用正交优化实验法,控制由LPCVD制备的Si3N4膜层对SiO2的选择比,对0.5μm有源区腐蚀工艺进......
期刊
选择比
有源区腐蚀
正交优化实验法
selecitivity etching of island orthogonal optimization method
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