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气泡缺陷IMD相关论文
从硅晶圆原材料角度对FSG气泡现象的有效预防
随着半导体器件尺寸的不断缩小,互连层间材料的特性在不断提高从而满足高性能和高速度IC器件的需要,当器件持续缩小至深亚微米的范......
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FSG
fluorinated.silicate-glass掺氟硅玻璃Bubble defect
气泡缺陷IMD
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