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氢化气相外延相关论文
氢化气相外延氮化镓生长中气氛的作用研究(英文)
报告了氢化物气相外延技术中 ,在载气氮气氛中加入氢气对材料表面形貌及材料性质的影响。实验发现生长气氛中氢的存在会显著改进材......
期刊
氮化镓
氢化气相外延
横向外延生长
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