氧化增强扩散相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

氧化增强扩散相关论文

微氮硅单晶在功率器件中的应用研究

近年来，硅中氮的行为被广泛深入地研究。通常，在大规模集成电路工艺中氮气广泛地用作保护气和载气。人们知道，氮在硅中能够抑制微缺陷......

学位

硅单晶开关晶体管反向击穿电压存储时间位错分布反向恢复时间工艺过程扩散工艺氧化增强扩散高阻

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