本文利用自主研发的RF-DCCVD双电源化学气相沉积系统，成功地在碳钢基材上沉积了类陨石坑非连续表面类金刚石（DLC）薄膜，提高了DLC薄膜与......

利用高真空有机分子束沉积系统,我们选择了一种较好的蓝光材料4,4'-bis(2,2,'-diphenylbinyl)-1,1'-bipheny1(DPVBi)......

近年来,电化学原子层沉积（Electrochemical atomic layer deposition,E-ALD）技术在制备催化、光电及热电等功能薄膜的研究和应用方面......

等离子-物理气相沉积(PS-PVD)是制备高温防护涂层和功能涂层的一种新方法,既可涵盖等离子喷涂和电子束物理气相沉积工艺,还可实现......

应用材料公司日前宣布推出全新的Olympia^TM原子层沉积（atomic layer deposition，ALD）系统。该系统采用独特的模块化架构，为先进3D内存......

本论文设计建立了国内第一台磁过滤脉冲阴极真空弧沉积系统,并对其性能进行了考察。对弧源弧压、聚焦磁场和磁过滤管道正偏压以及......

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