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沟道层工艺条件相关论文
沟道层工艺条件对IZO薄膜晶体管稳定性的影响及机理研究
本论文研究分析了射频磁控溅射制备沟道层的工艺条件对氧化物薄膜晶体管稳定性的影响。实验中以不同的沟道层工艺条件制备了铟锌氧......
学位
稳定性
铟锌氧化物
射频磁控溅射
沟道层工艺条件
薄膜晶体管
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