法向矢量法相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

法向矢量法相关论文

周期结构的衍射模拟算法及其应用研究

散射度量是半导体微电子制造领域中工艺过程控制与关键尺寸(CD)测量的重要技术手段,它广泛应用于微电子制造领域。根据2011年国际......

学位

散射度量严格耦合波分析层吸收法法向矢量法关键尺寸

一种二维光栅结构衍射场计算中的快速收敛方案

基于Lalanne经验法与Gtz法向矢量法的傅里叶因式分解过程,给出了傅里叶模态层吸收法的一个快速收敛方案.通过求解解析边界轮廓函......

期刊

衍射模拟算法层吸收法光栅严格耦合波分析法向矢量法收敛性测试

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