液面基准相关论文
随着精密制造行业对光学元件面形要求的提高,干涉仪系统误差的标定越来越重要。而液面基准法具有精度高、操作简单的优点。本文采......
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介绍了把Ф300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况。改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在Ф3......
现代制造业对加工精度的要求日益提高,测量精度是影响加工精度的一个关键。平面度误差是形貌误差的一个重要的评定指标,在一些条件......
