渗氮效果相关硕士博士期刊学术论文

在活性屏离子渗氮(ASPN)过程中,如果偏压小于工件产生自溅射的偏压阈值,工件表面渗氮层不均匀,甚至渗不上氮,所以溅射和偏压对于活......