温度分布控制相关论文
硅单晶是半导体集成电路和光伏发电产业的重要基础材料,通常采用直拉法(CZ)生长硅晶体。随着大规模集成电路技术的不断发展,要求硅......
设计优化96孔生化样品处理台加热板的物理结构和加热方式，使得生化样品处理台能够快速、均匀地在5分钟内被加热到100℃。利用三维软......
