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射频磁控溅射法制备掺钛氧化锌透明导电薄膜及其性能研究
作为一种直接带隙的半导体材料,氧化锌(ZnO)不仅具有高透过率、低电阻率和较宽的光学带隙(3.3eV),而且还具有优越的压电性能和热电......
学位
射频磁控溅射
导电薄膜
掺钛氧化锌
制备工艺
微观结构
湿润性质
光电特性
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