溅射工艺参数相关论文
Fe-Zr-B-Cu纳米晶合金(NANOPERM)具有优异的软磁性能,饱和磁化强度比Fe-Cu-Nb-Si-B(FINEMET)合金高,且热处理后形成的纳米晶BCCα-......
学位
利用中频交流反应磁控溅射方法制备TiO2薄膜光催化剂,研究了溅射工艺参数对薄膜光催化能力的影响.采用动态反应系统,紫外光源为TUV......
近年来超硬涂层的出现,为高速切削、干式切削的高质量刀具的发展,提供了契机。本文开展了磁控溅射法制备TiAlSiN涂层的工艺研究,在......