激光外差干涉相关论文
激光外差干涉非接触式的特点使其成为无损检测领域重要的组成部分,对于某些特殊行业来说,能够实现纳米级别的高精度检测显得尤为重......
随着超精密加工技术、精密工作台性能检测、微电子技术与生物医学工程等技术的迅速发展,对精密平台的三自由度检测技术及仪器提出......
绝对距离测量是精密计量领域中重要的研究内容之一,大量程、高精度绝对距离测量具有广阔的应用前景。 本论文在分析外差干涉理......
为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型.传统外差干涉测量模型采用舍去......
为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM......
为了减小激光外差干涉非线性误差,必须考虑偏振分光镜透过率和反射率不等对非线性误差的影响.通过分析两臂透过率与反射率不等对测......
分析了大学物理实验中传统的消光式椭偏仪实验存在的问题,提出以一种新型外差式椭偏测量系统取代.结合塞曼激光外差干涉和反射式椭......
偏振分光镜存在旋转角度误差是引起激光外差干涉非线性误差的来源之一.提出了一种确定激光外差干涉偏振分光镜旋转角度误差的方法.......
为了提高激光外差干涉的测量精度，必须明确偏振分光镜（PBS）对激光外差干涉测量精度的影响。基于激光外差干涉非线性误差产生机理，建立......
转轴的圆跳动对机床的加工性能具有重要影响。为了满足实时在线的高精度测量需求,提出了一种新颖高效的轴跳动激光相干测量技术。......
针对声光晶体内部的声波反射使晶体内声场分布不均匀,影响衍射效率和衍射光场分布,降低激光外差干涉效率的现象,以不改变声光设备......
为了精确测量激光外差干涉非线性误差,提出了一种新的激光外差干涉非线性误差测量方法.通过对来自激光外差干涉测量臂的输出信号直......
根据外差干涉非线性误差的产生机理,建立了起偏器放置误差和相位延迟误差对非线性误差影响的理论模型,分别分析了起偏器放置误差和......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
随着科学技术的不断发展、工业加工对计量技术的要求进一步提高,各种激光测量技术广泛应用于高精度测量,其中激光外差干涉由于其可......
激光外差干涉测量系统基于高信噪比、高分辨率、可溯源性等优势,被广泛应用于各个精密测量领域,因而提高激光外差干涉的位移测量精......
为了改善传统硬件相位测量中存在电路复杂、测量精度低、工作频带宽窄等诸多缺陷,利用AD8302的良好高频测相能力,设计了一种新的激......
描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取参考信号和测量信号的上升沿时间差,在......
随着微电子技术、超精密加工技术和生物医学工程等高新技术的迅速发展，对纳米测量技术及仪器提出了更高的要求，大范围、高精度的多自......
纳米测量是在纳米水平上对物质的尺度和形状、光学、电学、磁学等性质进行精密测量的方法和手段,其中最基本的测量挑战就是纳米尺......
介绍了调相信号的锁相解调技术基本原理以及利用集成锁相环NE564实现对信号的锁相解调。为了解调出不失真的波形，利用集成锁相环NE5......
提出了一种显微式的激光多普勒测振系统。该系统基于激光多普勒测振原理,综合运用激光外差干涉技术和显微缩束技术,结合电路解调功......
