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飞秒矢量激光直写技术可以极大地压缩激光作用区域,减少激光对材料的热影响,其作用时间以飞秒尺度计算,而离子体生成时间以皮秒尺度计......
激光直写是一种适用于衍射光学器件及掩模加工的方法。利用声光调制器对曝光功率进行精确控制对所制作器件的性能是至关重要的。首......
衍射光学器件DOE是基于衍射光学原理制成的微光学器件。采用类似于微电子加工手段的激光辅助制造技术--激光直写技术,可以制作具有高......
介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器,并根据光强稳定度要求分析了出了调制器的在数和相关的控制电路。按控制原理及......
一种新的采用基准离焦信号的针孔调焦方案,用于激光直写的自动对焦子系统.通过在离焦曲线上提取参考离焦信号,建立基准离焦判据,它......
保证激光直写系统中曝光光功率的稳定和连续可调对所制作的二元器件的性能具有重要意义。利用MABLAB工具对声光调制器的数学模型进......
基于突破光学“阿贝衍射极限”限制定律的受激发射损耗(STED)显微镜的原理,自主搭建了一套基于连续激光光源的光学超分辨成像系统......