激光诱导化学气相沉积相关论文
为了制备高纯度的非晶纳米粉体 ,在传统的激光诱导化学气相沉积法反应装置的基础上 ,引入“双光束激励”的新方法 ,利用正交紫外光......
期刊
采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7~15nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光......
激光诱导气相沉积法是制备纳米氮化硅粉末的主要方法之一.在制备纳米粉体过程中,各工艺参数的变化对粉体特征有很大的影响.在激光......
使用氩离子激光作为光源,乙烷(C2H6)作为工作气体,在激光功率0.5—4.5W,气体压力0.03—0.09MPa的变化范围内,进行激光诱导化学气相沉积形成微......
硅在向纳米结构转变过程中,随着颗粒尺寸的减小而导致的表面和界面的增加、晶格畸变、缺陷数量和种类的变化等,使其低维效应、表面......
学位