热丝化学气相沉积相关论文
采用热丝化学气相沉积法制备出硼掺杂金刚石薄膜，激发出了金刚石薄膜的电学性能，结合金刚石薄膜在工具方向的应用，成功制备出硼掺杂金......
为提高金刚石涂层与硬质合金基体的适配性，采用热丝化学气相沉积技术在YG6硬质合金表面制备金刚石涂层，利用扫描电镜、能谱仪、原子......
金刚石是目前使用的材料中硬度和热导率极高的物质,在微电子材料、光学材料、硬质镀膜等领域有广泛的应用。但是天然生成金刚石需......
金刚石具有高硬度、高弹性模量、高热导率和高耐磨性等优异物理性能,作为涂层材料,在硬质合金基体超硬涂层领域极具应用价值。然而......
发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法，利用等离子体发射光谱，在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下，对热......
目的 选择合适的过渡层材料改善三维连通泡沫铜衬底与金刚石之间的结合性,制备出三维连通结构的泡沫金刚石.方法 选择三维连通的泡......
硼掺杂金刚石薄膜在电化学领域具有十分广阔的应用前景,在电化学传感器方面表现出高灵敏度、快速响应和强的抗干扰性等优势,本文围......
在光伏领域中,晶体硅(包括单晶硅和多晶硅)太阳电池一直在市场中占有主导地位(约占95%以上),但是由于晶体硅是体材料,在太阳能电池......
天然资源的短缺和空气污染的加剧,人们对新型能源的需求越来越迫切。燃料电池因其能量转化率高、环境友好、设备简单、操作方便等......
采用等离子体增强热丝化学气相沉积法在Si(111)衬底上生长金刚石薄膜 ,扫描电子显微镜 (SEM )和X射线衍射 (XRD)分析结果表明金刚......
本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n 型纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜，系统研究了沉积参数，特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和......
目的 分析硼掺杂织构金刚石薄膜的微观组织结构和表面质量,并探究刀具基体表面不同织构对薄膜结合强度和切削性能的影响.方法 通过......
金刚石膜因在力学、热学、光学及电学等方面具有独特的性能,所以在各个领域都有十分广泛的应用,CVD金刚石涂层刀具以及PCD(聚晶金......
掺硼导电金刚石（boron doped diamond，简称BDD）电极因其优异的物理化学稳定性、低背景电流以及很宽的电势窗口，在重度废水及高品质日用......
本工作采用激光溅射沉积(PLD)和激光辅助热丝化学气相沉积(HFCVD)两种实验技术制备了SiC薄膜，并对薄膜特性进行了研究。用扫描电镜(......
随着高能粒子物理、航天科技、国防、地震预报的研究和发展，迫切需要能有效工作于高温下，并具有高速响应、抗辐照能力强的核辐射探测......
金刚石具有硬度高、耐磨性好、摩擦系数小、导热性高、热膨胀系数低和化学惰性等优良特性，在特种刀具领域具有很好的应用前景，是目前......
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法分别在镀Ag、镀Cu玻璃衬底上低温沉积出高质量多晶硅薄膜。使用XRD、Raman光谱、扫描电子显微镜(......
随着电子和光子产品朝着速度更快、体积更小、功率更高的方向发展,基片材料的选择和提高基片材料的导热性能成为重要的研究课题。......
热丝CVD金刚石薄膜在很多领域都存在有巨大的应用前景,对热丝CVD制备金刚石薄膜的研究也取得了很大进展。提高金刚石薄膜的生长速......
硅碳氮(SiCN)薄膜作为一种新型的宽带隙半导体材料,因其优异的物理和化学特性,使它成为当前材料科学领域的研究热点之一。研究表明......
金刚石是一种集多种优良性能于一体的功能材料,它具有很高的硬度、很低的可压缩性、极佳的化学惰性、很低的介电常数、很高的禁带......
掺硼金刚石(BDD)薄膜作为一种新型半导体薄膜材料具有广泛的应用前景。本实验着重研究了BDD薄膜电极测定铜离子的电化学行为并建立......
多晶硅薄膜在薄膜太阳电池和薄膜晶体管等大面积电子学方面具有明确的应用前景。由于具有高速沉积、气体利用率高和易晶化等特点,......
采用热丝化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜,利用X射线衍射谱、Raman散射谱、透射光谱和扫描电子显微镜等检测手段,系统地研究沉积过......
HIT电池高效率核心技术之一为本征非晶硅薄膜钝化硅片.本文采用热丝化学气相沉积(HWCVD)法制备a-SiOx∶H,采用SintonWCT-120少子寿......
研究了在热丝化学气相生长金刚石的过程中、衬底温度、衬底表面附近的气体温度以及气流的 质量流密度分布对金刚石膜的形核和生长......
不同剂量的N离子被注入到化学气相沉积金刚石膜内 ,研究了表面结构及场发射特性的变化 .Raman谱和x射线光电子能谱分析表明 ,N离子......
本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率。结果表明 ,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带 ;膜表面的粗糙度和组......
不同剂量的N离子被注入到化学气相沉积金刚石膜内,研究了表面结构及场发射特性的变化.Raman谱和x射线光电子能谱分析表明,N离子的......
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)技术制备n型纳米晶硅(nc-Si:H)薄膜,系统地研究了沉积参数,特别是掺杂浓度对薄膜微结构、电学性质和......
采用热丝化学气相沉积方法研究了CH4/H2体系不同沉积气压以及不同加热结构对金刚石薄膜组成及形貌的影响,并对其摩擦磨损性能进行......
采用热丝化学气相沉积法在铌基体上制备一系列硼掺杂金刚石薄膜电极,并通过扫描电子显微镜、激光拉曼光谱、X射线衍射、显微硬度和......
报道了一种利用偏压恒流等离子辅助热丝化学气相沉积方法在硅基板上制备大面积均匀纳米金刚石薄膜的新工艺,在不同沉积条件下研究......
以金属W和Ta为热丝 ,采用热丝化学气相沉积 ,在 2 5 0℃玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜 .研究了热丝温度、沉积气压、热丝与衬底间距等......
采用热丝化学气相沉积技术制备了一系列处于不同生长阶段的薄膜样品,用原子力显微镜系统地研究生长在单晶硅衬底和玻璃衬底上薄膜......
用H2、CH4和B2H6气体作为气源,采用热丝化学气相沉积技术在单晶硅衬底上分别制备纯金刚石膜和含硼金刚石薄膜,然后在600~800℃高温......
采用不同的预处理方式浸蚀YG6硬质合金基体表面,随后在热丝化学气相沉积装置上沉积了金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、x射线衍射仪以......
针对YT15硬质合金B212型成形铣刀片,以两种不同的化学方式对硬质合金基体进行预处理,而后采用热丝化学气相沉积的方法在其表面沉积......
为了对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的工艺进行优化，提出了以有限元法模拟金刚石薄膜沉积系统三维温度场的新方法．在有限元仿真中，分......
使用在连续介质中建立的二维流场数学模型,模拟计算了在用HFCVD方法生长金刚石薄膜过程中影响气体温度分布的多个沉积工艺参数,研......
用热丝化学气相沉积法（HFCVD）在蓝宝石基片上原位制备了MgB2超导薄膜，并用XRD、SEM和dc SQUIDs研究了基片温度和时间对薄膜相组成、表......
本文研究了气压对热丝化学气相沉积金刚石薄膜沉积温度的影响。扫描电子显微镜（SEM）结果表明，同常规热丝化学气相沉积的气压（5．32kPa）相......
本文介绍了当前金刚石薄膜形核的现状及用热丝化学气相沉积法在不同的衬底上沉积金刚石膜,对Si、Ni、Cu三种衬底生长的金刚石膜进......
用热丝化学气相沉积(HFCVD)法以CH4和SiH4作为反应气体在Si衬底上制备了纳米晶态6H-SiC.为减小6H-SiC与Si衬底之间的晶格失配,在HF......
为了研究热丝温度对a－SiNx：H薄膜性能的影响，采用热丝化学气相沉积法，以SiH4，NH3，H2为反应气源，改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外－可见光吸......
