在微电子和集成电路领域,硅基半导体器件伴随着材料和器件的物理尺寸缩小到纳米尺度,从1960年代后期的微处理器到1970年代初的自动......

随着微电子技术的不断发展,传统的硅基晶体管技术终将面临其物理极限,基于新材料和新结构的器件研究被人们寄予厚望,为探索下一代......

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......