玻璃上硅(SOG)结构相关硕士博士期刊学术论文

根据固体波动陀螺的工作机理与振动特性,提出并制作了一种新颖的电容式全对称硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构。设计了全对称双U形弹......