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直流磁控溅射磁性γ′-Fe4N膜生长机理研究
采用直流磁控溅射法研究了磁控溅射沉积氮化铁薄膜的生长机制 ,并归属了其生长普适类型 .结果表明 ,磁控溅射法生长的薄膜表面具有......
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γ′-Fe4N
生长普适类型
直流磁控溅射
磁性
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