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电场增强晶化相关论文
电场增强金属诱导侧向晶化制备多晶硅薄膜和薄膜晶体管
采用电场增强金属诱导侧向晶化方法获得了结晶良好的多晶硅薄膜,拉曼光谱分析表明侧向扩散区域结晶效果最好,X射线衍射分析表明加......
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