电容加速度计相关论文
提出并实现了一种利用SoI结合金硅原电池保护和反熔丝制作电容式加速度计的新工艺方法。该工艺用SoI顶层硅制作梁和上电极,用衬底制......
提出一种基于水银电容式加速度传感器的接口电路。从根本上解决加速度传感器在大冲击或恶劣环境下的测量数据难采集的问题。在此接......
本文对用微机械加工技术制成的薄膜型硅电容式微加速度计的国际最新研究动向进行了论述,列举了采用表面微机械加工、硅片键合、硅......
提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100~8000kHz。信号频率低于500Hz时选用开关电容低通......
基于微机械工艺制作的加速度计 ,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需求研制了检测微小电容变化的......
期刊
阐述了开放式虚拟仪器平台LabVIEW的特点;论述了电容式加速度计的数据采集原理;利用图形化编程语言LabVIEW的虚拟仪器和动态特性,......