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电液动力泵相关论文
微型电液动力泵结构与工艺优化的实验研究
随着电子元件的越来越小型化,电子技术的不断发展和芯片集成度的不断提高,导致电子器件单位面积上的热流密度不断增加。目前高热流器......
学位
电液动力泵
结构参数
工艺优化
实验设计
微型电液动力泵的实验
本研究在硅片上制作了有平面电极的微型电液动力泵并进行了实验研究。微泵由一组平面电极组成,施加直流电压驱动液体流动。分别采......
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电液动力泵
MEMS
离子拖曳
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