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微细加工技术作为MEMS技术从设计到产品化的整个过程中最关键和基础的环节,已成为当前MEMS技术研究的热点。而在众多的微细加工技......
采用紫外线光刻工艺,将Fe-Ni和Fe-Ni-W合金电铸成粉末注射成型用微型齿轮模具.研究电镀过程中2种合金的动力学和活化能,以确定最佳......
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