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直拉硅片相关论文
    直拉硅片的基于快速热处理的内吸杂工艺
    直拉硅片的内吸杂是通过合适的热处理工艺使氧沉淀过程仅发生在硅片体内,其产生的氧沉淀及其诱生缺陷[统称:体微缺陷(BMD)]吸除硅片......
    学位
    直拉硅片 快速热处理 氧沉淀 内吸杂工艺

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