直流放电等离子体相关硕士博士期刊学术论文

进行了用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅的试验，反应器的功率达到30kW，三氯氢硅单程收率超过了60％，每生产1kg三氯氢硅耗......