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直线气浮系统相关论文
基于电流变阻尼超精密气浮工作台建模及控制研究
随超精密装备加工精度和生产率的不断提高,直线气浮系统得到广泛重视和研究.为解决直线气浮系统抗干扰能力较差等问题,针对已开发......
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直线气浮系统
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