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相位光栅干涉相关论文
基于FPGA的相位光栅干涉位移传感器信号处理系统研究
大范围、高精度的位移传感器在先进制造领域具有重要作用,面临广泛需求。相位光栅干涉位移传感器以衍射光栅栅距作为测量基准,具有大......
学位
相位光栅干涉
位移传感器
FPGA
PCI
信号处理系统
一种小型相位光栅干涉式(PGI)微位移传感器
本文在已有的研究成果基础之上 ,介绍了一种小型相位光栅干涉式 (PhaseGratingInterference)微位移传感器 ,该传感器具有大量程、......
期刊
相位光栅干涉
微位移传感器
表面形貌
微位移测量
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