相移干涉测量相关论文
给出了3种多波长测量技术的应用实例.采用多波长二极管激光器干涉仪测量表面轮廓.3个二极管激光器分别发射780 nm、823 nm和825 nm......
分析了相移干涉测量过程中相移误差产生的原因,研究了基于迭代最小二乘算法的相移误差修正法,实现了任意两幅干涉图间相对移相量的......
在光学表面误差测量中常会碰到检测透明平行平板面形误差的情况,对于这种情况下的光学表面面形误差的检测,干涉测量中一般的方法将无......
相移干涉测量技术是一种精密的光学测量技术,具有非接触、高灵敏度、无损检测、全场检测等优点,被广泛地应用于工业生产和计量领域......
Stoilov算法是近几年提出的一种五步等步长相移算法。有关文献中的误差分析表明 ,该算法的性能优于四步等步长Carr啨算法闹懈......