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真空阴极电弧相关论文
真空阴极弧制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究
在本文中,我们利用真空阴极弧沉积技术在硅烷、氮气和氩气的混合气氛下成功制备了纳米复合Ti—Si—N薄膜。重点探讨了硅烷流量对薄......
学位
真空阴极电弧
薄膜
Ti-Si-N
硅烷
反应气体流量
梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响
目的分析不同类型的梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石涂层耐磨性能的影响,制备出能有效改善硬质合金减摩抗磨性能的类金刚石涂层......
期刊
类金刚石涂层
梯度过渡层
硬质合金
耐磨性
真空阴极电弧
PECVD
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